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Sachsen oder Frankreich: Wer bekommt die Chipfabrik?

16.07.2021
Die Weltkonzerne Intel und TSMC suchen Standorte für Chipfabriken. Ein Gespräch über Dresdens Chancen mit Heinz Martin Esser, Vorstandschef von Silicon Saxony.

Von Georg Moeritz

Herr Esser, sind die Chipfabrikanten in Frankreich unsere Freunde oder Konkurrenten?

Es gibt Partnerschaften zwischen Unternehmen im Silicon Saxony und im Raum Grenoble. Die Verbände und Forschungsinstitute arbeiten auch intensiv zusammen. Sie haben im Blick, dass es eine europäische Strategie für die Halbleiterindustrie geben muss. EU-Kommissar Breton hat gesagt, dass wir in der EU eine Nanofab brauchen, eine Fabrik für modernste Mikrochips mit Strukturen im Nanometer-Bereich. Nun ist die Frage, welcher Konzern baut diese Fabrik, und wo kommt sie hin?

Große Standorte der Halbleiterbranche sind Dresden und Grenoble. Wissen Sie, wo die Fabrik gebaut wird?

Nein. Ich weiß, dass vertrauliche Gespräche mit großen Herstellern wie Intel und TSMC stattfinden. Eine Fabrik kostet viele Milliarden Euro. Die Idee, Europa mit einer neuen Mikrochipfabrik wieder an die Weltspitze zu setzen, ist eine gute Idee.

Sind staatliche Subventionen entscheidend für die Standortwahl?

Um solche Ansiedlungen gibt es einen weltweiten Wettkampf. Wer die attraktivsten Bedingungen bietet, der siegt. Das ist das Gesetz der Wirtschaft. Auch die USA und asiatische Staaten haben definiert, dass Mikroelektronik eine Schlüsselindustrie ist, die für vieles andere benötigt wird. Nun hat Europa entschieden, nicht den Anschluss verlieren zu wollen. Da ist nichts mit wenigen Tausend Euro zu machen. Die Investoren bringen aber auch viel Geld mit. Die Subventionen sind ein Vorschuss auf spätere Steuereinnahmen und dafür, dass die Menschen in der Region sich etwas leisten können.

Heinz Martin Esser ist seit 2009 Vorstandsvorsitzender des Branchenverbands Silicon Saxony e.V. in Dresden. Das Hightech-Netzwerk hat rund 350 Mitglieder, darunter Chipfabriken, Softwarefirmen und Anlagenbauer.
Heinz Martin Esser ist seit 2009 Vorstandsvorsitzender des Branchenverbands Silicon Saxony e.V. in Dresden. Das Hightech-Netzwerk hat rund 350 Mitglieder, darunter Chipfabriken, Softwarefirmen und Anlagenbauer. © BLEND3 Frank Grätz

Sind Sie als Chef des Branchenvereins Silicon Saxony dabei, wenn über EU-Förderprogramme wie Ipcei oder Ecsel verhandelt wird?

Nein, wir sind nicht die Investoren. Die Industrie weiß, welche Bedingungen sie benötigt, die Unternehmen sprechen mit der Politik.

Sind die Bedingungen für die Investoren nicht inzwischen überall ähnlich?

Es ist ein Wettbewerb. Wir wissen nicht genau, was Taiwan oder Singapur, Korea oder die USA letztendlich tun, um Industrie anzusiedeln.

In Dresden haben Globalfoundries und Infineon hohe Investitionen angekündigt, und Bosch hat gerade eine neue Fabrik gebaut. Gibt es in Sachsen noch genügend Fachkräfte für eine zusätzliche Fabrik?

Ja, das ist nicht das Thema. Wenn ein solcher Leuchtturm für Sachsen gewonnen werden könnte, hätte er eine hohe Anziehungskraft. Es war doch immer so: Wenn jemand eine große Investition im Silicon Saxony verkündet hat, hatte das eine magnetische Wirkung. Eine neue Chipfabrik würde übrigens hoch automatisiert arbeiten, nicht unbedingt mit Tausenden Arbeitskräften.

Die neue Bosch-Fabrik in Dresden hat bisher nicht mehr als 250 Stellen. Ist das nicht enttäuschend?

Bosch hat angekündigt, dass im Werk Dresden bis zu 700 Arbeitsplätze entstehen. Doch in der Halbleiterbranche wird schon über eine mögliche „dark fab“ gesprochen, also Anlagen, die „im Dunkeln“ und fast ohne Menschen produzieren können. Der Druck auf die Preise ist enorm hoch, also wird nur so viel Personal eingestellt, wie unbedingt notwendig ist. Die Produktion läuft ja ständig, also müssen drei bis fünf Schichten besetzt werden. Natürlich hat eine Fabrik auch eine Verwaltung und Instandhalter, aber die eigentliche Produktion im Reinraum wird stark automatisiert.

Gilt das auch für Asien, wo die Arbeitskräfte billiger sind?

Das ist weltweit üblich, und die Arbeitskosten sind nicht überall in Asien niedrig. Die Investitionskosten für eine moderne Chipfabrik sind gigantisch, da geht es um mehr als 10 oder 20 Milliarden Euro. Das Gebäude kostet vielleicht 15 bis 25 Prozent davon, aber die technischen Anlagen machen 60 bis 70 Prozent der Kosten aus.

Davon hat auch der Dresdner Anlagenbauer Fabmatics profitiert, als dessen Geschäftsführer Sie gerade in den Ruhestand gegangen sind?

Wir haben mit unseren Anlagen nicht Arbeitsplätze attackiert. Das Ziel ist eine Automatisierung, mit der die Fabriken stabil laufen. Roboter arbeiten niemals schlampig, machen keine Pausen, die Transportsysteme sind zuverlässiger.

Trotz der Ansammlung von Chipfabriken in Dresden sind hier keine großen Ausrüster entstanden. Warum nicht?

Fabmatics ist immerhin auf jetzt 200 Beschäftigte gewachsen, liefert in die USA und nach Taiwan und arbeitet für das japanische Unternehmen Murata als Fabrik-Ausrüster. Die großen Anlagenbauer sind aber gesetzte Größen. Die Automatisierung großer Fabriken ist fest in der Hand der japanischen Firmen Murata und Daifuku, teure Anlagen in den Chipfabriken kommen von ASML aus den Niederlanden, Applied Materials aus den USA oder Tokyo Electron aus Japan. Das sind Riesen. Es bleiben aber Nischen, zum Beispiel für Fabmatics.

Was war Ihr größter Erfolg in zwölf Jahren an der Spitze von Silicon Saxony?

Für mich war es ein Highlight, die jährliche Halbleitermesse Semicon von Stuttgart nach Dresden zu holen. 2009 fand sie hier zum ersten Mal statt, fünfmal in Folge. Der Freistaat hat massiv geholfen, auch die Landeshauptstadt. Es war dann ein leichter Schlag in die Magengrube, als der Veranstalter Semi die Messe im jährlichen Wechsel mit Dresden nach Grenoble vergab, dann nach München.

Und was war der größte Rückschlag?

Die Schließung der Speicherchipfabrik von Qimonda in Dresden nach der Insolvenz im Jahr 2009 war auch ein großer Rückschlag für Silicon Saxony insgesamt. Damals wurde ich in vielen Interviews gefragt, ob die hiesige Halbleiter-Industrie nun zugrunde geht. Aber genau das ist nicht passiert. Totgesagte leben länger. Man hat sich auf die Möglichkeiten und Fähigkeiten hier in Sachsen konzentriert.

Was war das, nachdem die Massenproduktion billiger Speicher nicht mit Asien konkurrieren konnte?

Infineon hat neue Produkte in die 200-Millimeter-Fabrik geholt, intelligente Chips für Sensoren, Systeme auf einem Chip, Sicherheitschips für Dokumente – und in der jüngeren 300-Millimeter-Fabrik gelang es, Leistungshalbleiter auf dünnen Siliziumscheiben zu produzieren. Auch Globalfoundries hat sich auf spezielle Produkte fokussiert, energie-sparende Chips mit der FD-SOI-Technologie. Neue Anwendungen für Autos der Zukunft und das Internet der Dinge sind das große Thema.

Genügt das, um die Chipfabriken auf Dauer hier zu halten?

Wir haben die Lektion gelernt und die Kräfte am Standort gebündelt. Die Halbleiter-Industrie hat hier eine lange und gute Zukunft – mit Digitalisierung, Automotive, Künstlicher Intelligenz, den Möglichkeiten vom schnellen Mobilfunk mit 5G und später 6G. Die Zusammenarbeit als Spitzencluster Cool Silicon hat uns weiter in Richtung Software geöffnet. Von den rund 70.000 Arbeitsplätzen im großen Ökosystem Silicon Saxony sind inzwischen rund 30.000 in der Software. Beim Förderprogramm Cool Silicon ging es ums Energiesparen.

Aber der Hunger nach Chips wächst, der Energieverbrauch auch …

Ja, der Verbrauch an elektrischer Energie wird dramatisch zunehmen, egal, was wir hier tun. Wir produzieren die Chips energiesparend, aber insgesamt werden es mehr. Energieeffizienz wird zu einer wichtigen Bedingung für alle, die Chips brauchen.

Was wurde aus Ihren Versuchen, Mikrochips auf größeren Scheiben zu produzieren, mit 450 statt 300 Millimetern Durchmesser?

Daraus ist weltweit nichts geworden. Daran wurde vor allem in Albany im Staat New York geforscht, im Silicon Saxony gab es einen Arbeitskreis dazu. Wir hatten mit dem Fabmatics-Vorgänger Roth & Rau-Ortner in Albany ein Transportsystem mit Liften dafür installiert. Doch die Prozesssicherheit der Lithografie auf den großen Scheiben ließ sich nicht verwirklichen. Und es stellte sich heraus, dass die Produktionskosten mit den großen Scheiben um ein Vielfaches höher geworden wären als mit immer kleineren Transistoren auf 300-Millimeter-Scheiben.

Aus dem Wettbewerb um immer kleinere Chip-Strukturen haben sich die Dresdner Hersteller auch verabschiedet. Langjährige Forscher und Entwickler aus Sachsen halten das für riskant, Sie auch?

Ich kenne die Kritiker und die vergebliche Hoffnung, der Staat könnte wie früher in der DDR eine Fabrik hinstellen. Immerhin arbeitet Globalfoundries mit 22-Nanometer-Strukturen in der FD-SOI-Technologie. Natürlich besteht die Gefahr, dass Fabriken in Taiwan, Korea, den USA und möglicherweise Singapur mit feineren Chipstrukturen von 7 und 5 Millimetern Dresden unter Druck setzen. Doch dabei geht es um andere Produkte. Die Kapazitäten in Dresden sind jetzt ausgelastet, zum Beispiel mit Chips für die Autoindustrie. Die wird auch in zehn Jahren noch keine Chips mit Strukturen von weniger als zehn Millimetern benötigen. Ich würde mich trotzdem freuen, wenn ein Investor eine Fabrik mit dieser Technologie bei uns ansiedeln würde. Wir hätten damit noch mehr Möglichkeiten.

Wird in Europa genug dafür getan?

Die EU tut eine Menge, auch Bundes- und Landesregierung. Ich begrüße die europäische Initiative um Kommissar Breton. Aber es gehört zu den Eigenarten der Europäischen Union, dass man von einer guten Idee die Regierungen der Mitgliedsstaaten begeistern muss. Eine Regierung in Taiwan kann sagen: Das machen wir. Eine europäische Kommission muss eine Idee erst mal intern verkaufen. Die anderen Staaten wollen wissen, wie sie davon profitieren. Deshalb dauert vieles länger.

Das Gespräch führte Georg Moeritz.

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