Ein Hightech-Finnenschwede in Sachsen

Von Heiko Weckbrodt

Jonas Sundqvist leitet von einem Dresdner Sofa aus eine Halbleiter-Firma in Lund – und will von Sachsen aus Europas Chipindustrie einen ätzenden Schub verpassen.

Wer Dr. Jonas Sundqvist in Dresden sucht, landet in Skandinavien. Warum die Sackgassen-Siedlung nahe am Fernsehturm auch „Schwedendorf“ genannt wird, erschließt sich rasch: Die Holzlamellen und abgesetzten Fenster an den Häuschen sehen aus wie direkt aus Småland nach Sachsen versetzt. Drinnen zeigt sich noch deutlicher, wie sehr der promovierte Mikroelektroniker in zwei Welten lebt: Sachsen und Schweden, Hightech und Holzhütte. Sundqvist sitzt zwischen Ofen und Holztreppe auf einem jener Sessel, auf dem man einen ganzen skandinavischen Winter aussitzen könnte. Auf dem Schoß balanciert er einen jener Wafer-Wagen, mit denen moderne Chipfabriken ihre Siliziumscheiben hin und her karren. Von hier aus leitet Sundqvist eine noch junge Mikroelektronik-Firma im schwedischen Lund.

Sein Unternehmen „Alixlabs“ treibt gerade eine neuartige Ätztechnologie zur Marktreife, die europäischen Halbleiterfirmen auch ohne sündhaft teure Röntgen-Belichtungsmaschinen den Vorstoß in die Nanowelt ebnen soll. Und das geht eben nicht in Schweden, wo die moderne Halbleiter-Infrastruktur dafür fehlt. Für den Standort Dresden habe er sich wegen der hochmodernen Halbleiterforschungs-Reinräume entschieden – und weil er sich hier mittlerweile verwurzelt fühle, sagt der „Alixlabs“-Gründer. Schweden und Finnland seien zwar seine Heimat, zu Hause fühle er sich aber inzwischen vor allem in Sachsen, erklärt Sundqvist. „Heutzutage lässt sich doch alles vom Homeoffice aus machen“, sagt er augenzwinkernd und schiebt einen Teller mit schwedischen Keksen und sächsischem Stollen über den Tisch. „Da kann ich hier von meinem Dresdner Sofa aus auch die Firma leiten.“

In ganz Europa umgeschaut

Das alles hat seine ganz eigene Vorgeschichte: Der 1974 als „Finnenschwede“ in Helsinki geborene Sundqvist promovierte als Chemiker in Uppsala. Schon im Studium spezialisierte er sich auf die Atomlagen-Abscheidung („Atomic layer deposition“, kurz: ALD) für Chipfabriken. „Ich habe mich dann in ganz Europa nach einem Job umgeschaut. Deutschland stand dabei eigentlich gar nicht auf meiner Liste.“ Nur zögernd folgte er daher 2003 dem Ruf der ehemaligen Siemens-Tochter Infineon nach Dresden. „Ich hatte ein völlig falsches Bild von Dresden“, erzählt er. „Alle haben mir gesagt, dass die Engländer und Amerikaner dort im Krieg alles völlig zerstört haben und die Stadt bis heute ein völliges Ödland sei. Umso größer war der Wow-Effekt, als ich nach dem Vorstellungsgespräch bei Infineon hier in einem Mercedes herumgefahren wurde und die Stadt mal richtig gesehen habe.“ Bei Infineon half er in den Folgejahren mit, die ALD-Technologie, die Intel und Samsung bereits praktizierten, auch in den Dresdner Chipfabriken großformatig aufzuziehen. Kurz nachdem Infineon seine Speicherchip-Sparte abgespaltet hatte, wechselte auch der Atomlagen-Experte hinüber in Nachbargebäude zu Qimonda, forschte dort an international wegweisenden Halbleitertechnologien. „Das war ein sehr interessanter Job damals und ich war hochmotiviert, weil wir da technologisch an der Spitze und mit vielen internationalen Partnern gearbeitet haben.“

Dann kam 2008 und die große Chipkrise. „Wir waren damals alle stinksauer, dass der Bund und die EU nicht gesehen haben, welche Systemrelevanz Qimonda für Europa hatte.“ Der letzte große europäische Speicher-Chiphersteller, der noch an der vordersten technologischen Front arbeitet, hätte unbedingt gerettet werden müssen, war und ist er fest überzeugt. „Inzwischen haben Berlin und Brüssel längst erkannt, wie wichtig Leading-Edge-Chips für die Autoproduktion und viele andere Industrien sind. Heute würde das anders laufen. Doch damals hat die Bundesregierung lieber Opel gerettet und Qimonda pleitegehen lassen.“

An der TU Dresden geforscht

Nach der Insolvenz des Speicherchipriesen 2009 wechselte Sundqvist erst ins belgische Elektronik-Großforschungszentrum Imec und dann ins Fraunhofer-Nanoelektronikzentrum CNT, das sich gerade neu auf Globalfoundries-Aufträge ausrichtete. In den Folgejahren forschte er zudem an der TU Dresden und am Fraunhofer-Keramikinstitut IKTS in Dresden. Und an der Uni Lund entwickelte er mit weiteren Chemikern und Halbleiter-Experten eine Technologie, um Atomlagen für Chips nicht nur abzuscheiden, sondern auch durch atomgenaues Ätzen und Spalten („Atomic Layer Etch Pitch Splitting“ = APS) wenige Nanometer kleine Strukturen zu erzeugen. Normalerweise braucht man dafür über 100 Millionen Euro teure Extrem-Ultraviolett-Belichter (EUV) vom niederländischen Alleinhersteller ASML. Doch das Team um Jonas Sundqvist war bald überzeugt: Die APS-Methode ist eine echte Alternative und könnte Europas Halbleiterindustrie womöglich helfen, den strukturtechnologischen Rückstand zu Samsung, TSMC und Intel wieder aufzuholen. Und so gründeten die Schweden 2019 die Firma „Alixlabs“, die nun in Dresden das Verfahren bis zur Massenproduktionsreife führen will.

Bisher funktioniert das Verfahren laut Alixlabs im Labormaßstab bis hinunter zu zwei Nanometern. „Das Fraunhofer-Ökosystem hier in Dresden bietet für uns die besten Möglichkeiten, unser Verfahren jetzt zügig vom Labor in den Fabrikmaßstab zu überführen“, betont Sundqvist. Er plant nun, eine Tochterfirma in Dresden zu gründen, um den Transfer in die großen Chipfabriken voranzutreiben. Die Alixlabs-Belegschaft in Schweden und Sachsen soll in den nächsten Jahren schrittweise bis auf zunächst 30 Beschäftigte wachsen.
Ab der Jahreswende 2026/27 will Sundqvist das Ätzverfahren dann so weit haben, dass die ersten Kunden diese Systeme in großen Chipfabriken hochfahren können. Bis dahin setzt er schwedischen Optimismus gegen deutsche Skepsis. Denn eines fällt ihm in seiner Wahlheimat immer wieder auf: „Diese pessimistische Weltsicht der Deutschen. Hier steht immer gleich der Weltuntergang bevor.“